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      K-mate射頻電源及匹配器針對不同負載選擇相對應的阻抗匹配器

      發布時間:2015-08-18 08:50      發布人:admin  瀏覽量:3194
      首先在使用K-mate產品時,要明確應用設備的負載是容抗負載還是感抗負載,根據不同類型的負載選擇相適應的射頻匹配器。(在采購或調試時告知我司銷售人員或技術人員)。容抗負載多指的是真空腔體內電極放電,如磁控濺射,等離子清洗,RIE反應刻蝕,平板PECVD.感抗負載多指是通過線圈耦合等離子體放電,如管式PECVD,ICP刻蝕,射頻感應加熱等。在選用我司500W功率的射頻電源時,容抗負載建議選擇VENA-500(0010+00077),感抗負載時應選擇VENA-500(0010+00077)并告知負載線圈的規格如銅管的大小,線圈的內徑,圈數,及間距。以便我們在出廠時做好調試。在選用1000W匹配器時也需如此。

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